Vorrichtung zur Erfassung von Mikroverschiebungen, Piezo-Stellantrieb unter Verwendung der Vorrichtung und Abtastmikroskop unter Verwendung des Piezo-Stellantriebes.,申请号DE1990615406-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung zur Erfassung von Mikroverschiebungen, Piezo-Stellantrieb unter Verwendung der Vorrichtung und Abtastmikroskop unter Verwendung des Piezo-Stellantriebes.
摘要
申请公布号	DE69015406(D1)	申请公布日期	1995.02.09
申请号	DE1990615406	申请日期	1990.04.06
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TAKASE, TSUGIKO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;ADACHI, HIDEO, IRUMA-SHI, SAITAMA-KEN, JP;OKADA, TAKAO, HACHIOJI-SHI, TOKYO, JP;SHIMAZU, HISANARI, AKISHIMA-SHI, TOKYO, JP;TOMABECHI, HIDEO, HIGASHIYAMATO-SHI, TOKYO, JP
分类号	G01B7/34;G01B7/00;G01B7/28;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q20/00;G01Q60/10;G02B21/00;G02B21/26;G05D3/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34;G01B7/16;G01N27/00	主分类号	G01B7/34
代理机构		代理人
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