发明名称 DEVICE FOR EPITAXIAL GROWING OF LAYERS
摘要
申请公布号 RU1376633(C) 申请公布日期 1995.02.09
申请号 SU19864067238 申请日期 1986.04.07
申请人 MAJOR V.I.;KUNAKIN YU.I.;MATYASH A.A.;DIORDIEVA O.V. 发明人 MAJOR V.I.;KUNAKIN YU.I.;MATYASH A.A.;DIORDIEVA O.V.
分类号 C30B25/08;(IPC1-7):C30B25/08 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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