VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POLYKRISTALLINEN FILMES MITTELS CHEMISCHEN DAMPFNIEDERSCHLAGS.,申请号DE19906012727T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POLYKRISTALLINEN FILMES MITTELS CHEMISCHEN DAMPFNIEDERSCHLAGS.
摘要
申请公布号	DE69012727(T2)	申请公布日期	1995.02.09
申请号	DE19906012727T	申请日期	1990.03.30
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TOKUNAGA, HIROYUKI, OHTA-KU TOKYO 146, JP
分类号	C23C16/452;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/52;C30B25/10;(IPC1-7):C23C16/30;C30B28/14	主分类号	C23C16/452
代理机构		代理人
主权项
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