发明名称 Vorrichtung für den Transport von Substraten.
摘要
申请公布号 DE59104044(D1) 申请公布日期 1995.02.09
申请号 DE19915004044 申请日期 1991.03.14
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 MAHLER, PETER, W-6452 HAINBURG 2, DE;MICHAEL, KLAUS, DR., W-6460 GELNHAUSEN, DE;GEGENWART, RAINER, DR., W-6074 ROEDERMARK, DE;SCHERER, MICHAEL, DR., W-6458 RODENBACH, DE
分类号 C23C14/50;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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