发明名称 Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art
摘要
申请公布号 DE4326264(A1) 申请公布日期 1995.02.09
申请号 DE19934326264 申请日期 1993.08.05
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 VOS, GUENTER, DR., 53804 MUCH, DE;SCHOROTH, ANNO, 53639 KOENIGSWINTER, DE
分类号 G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/26;G01N27/62;G01L13/00;F04B37/02 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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