缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀

摘要

一种缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀，在光学玻璃基板上镀有厚度为300～2000，电阻为2000～20Ω/□，对可见光及近红外光透过率分别达到90％和80～85％的ITO导电膜；在ITO导电膜上镀有光波长敏感范围在0.4～2.0μm，可见光及近红外光波段范围光/暗电导比分别达到10²～10³及10的a-Si∶H光敏层。由于采用a-Si∶H作为近红外光光敏材料，使光敏层制备大为简化，光阀的分辨率、对比度提高，拓宽了a-Si∶H液晶光阀对光波波长的敏感范围，可同时用于可见光和近红外光写入。

主权项

缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀，它包括：光学玻璃基板[1]、[10]，ITO导电膜[2]、[9]，光敏层[3]，阻光层[4]，介质反射层[5]，液晶定向层[6]、[8]，液晶层[7]，本实用新型的特征是：1)在光学玻璃基板[1]、[10]上，镀有厚度为300～2000A，电阻为2000～20Ω/□，可见光透过率达到90%、近红外光透过率达到80%的ITO导电膜[2]、[9]；2)在ITO导电膜[2]、[9]上，镀有光波长敏感范围在0.4～2.0μm，在可见光波段范围其光/暗电导比为102～103，光吸收系数为105cm-1，在近红外光波段范围其光/暗电导比为10，光吸收系数为104～108cm-1的对可见光和近红外光同时敏感的a-Si∶H光敏层[3]。