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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6352480(A) 申请公布日期 1988.03.05
申请号 JP19860195345 申请日期 1986.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSHIKA KATSUSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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