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发明名称 APPLICATION OF FLUID SUBSTANCE
摘要
申请公布号 JPH0737916(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930177149 申请日期 1993.07.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 YAMAZAKI ISAMU;ABE YOSHIYUKI;KAMATA NOBUYUKI
分类号 B05C5/00;B05D1/26;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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