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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0737819(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930177807 申请日期 1993.07.19
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SAKAGUCHI HARUNORI
分类号 C30B25/14;H01L21/02;H01L21/205;H01L29/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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