| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0737830(A) |
申请公布日期 |
1995.02.07 |
| 申请号 |
JP19930201923 |
申请日期 |
1993.07.22 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IKEDA KAZUTO;KAIHATSU HIDEKI;KANO RIICHI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
