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发明名称
ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0737541(A)
申请公布日期
1995.02.07
申请号
JP19930158276
申请日期
1993.06.29
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
NAGANO KENJI
分类号
H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
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