| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0737872(A) |
申请公布日期 |
1995.02.07 |
| 申请号 |
JP19930181356 |
申请日期 |
1993.07.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YAHIRO KAZUYUKI;TOMITA KENICHI;MASE KOICHI;ABE MASAYASU |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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