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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0737836(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930176639 申请日期 1993.07.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIMURA HIDEFUMI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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