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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0737543(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930158486 申请日期 1993.06.29
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 NAKATANI KENJI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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