发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0738103(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930180173 申请日期 1993.07.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITO YUTAKA
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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