发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0738089(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930182473 申请日期 1993.07.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIGUCHI KATSUHIKO;MORI MITSUHIRO;MISHIMA TOMOYOSHI;TANIMOTO TAKUMA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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