发明名称 IMPRINTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0738006(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930201929 申请日期 1993.07.22
申请人 SONY CORP 发明人 IWASAKI SHOJI
分类号 H01L21/66;H01L23/00;(IPC1-7):H01L23/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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