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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0737869(A)
申请公布日期
1995.02.07
申请号
JP19930200233
申请日期
1993.07.20
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
SUZUKI YASUHIRO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320;H01L21/321
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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