| 发明名称 |
SUBSTRATE PROVIDED WITH AL ALLOY LAYER AS WIRING LAYER AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0736052(A) |
申请公布日期 |
1995.02.07 |
| 申请号 |
JP19930182548 |
申请日期 |
1993.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KASE KENICHI;TSUKII NORIO;SHIROHASHI KAZUO;YAMAMOTO HIDEAKI |
| 分类号 |
G02F1/1343;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/134;H01L21/320 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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