| 发明名称 |
MASS FILM THICKNESS MEASURING METHOD FOR THIN METALLIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01221608(A) |
申请公布日期 |
1989.09.05 |
| 申请号 |
JP19880047817 |
申请日期 |
1988.02.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
TAKAYAMA TORU;MATSUMOTO YOSHIRO |
| 分类号 |
G01B15/02;G01N23/207;G01N23/223 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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