| 发明名称 |
PRODUCTION OF ALUMINUM NITRIDE POWDER EXCELLENT IN WATER RESISTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0733415(A) |
申请公布日期 |
1995.02.03 |
| 申请号 |
JP19930173143 |
申请日期 |
1993.07.13 |
| 申请人 |
TOYO ALUM KK |
发明人 |
UENISHI MASATOSHI;YAMAMOTO TAKASHI |
| 分类号 |
C01B21/072;H01L21/52;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):C01B21/072 |
主分类号 |
C01B21/072 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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