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发明名称 EXHAUSTING METHOD FOR EVACUATION TREATING DEVICE AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0734251(A) 申请公布日期 1995.02.03
申请号 JP19930200014 申请日期 1993.07.19
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ISHIDA TAKESHIGE
分类号 B01J3/02;C23C16/44;C23F4/00;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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