| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON NITRIDE POWDER HAVING HIGH ALPHA-SILICON NITRIDE CONTENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0733411(A) |
申请公布日期 |
1995.02.03 |
| 申请号 |
JP19930199243 |
申请日期 |
1993.07.16 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
FUKUOKA HIROFUMI;WATANABE MAKI;KONYA YOSHIHARU;FUKUHIRA MASANORI |
| 分类号 |
C01B21/068;(IPC1-7):C01B21/068 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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