Verfahren zur Herstellung einer leitenden oder supraleitenden dünnen Schicht.,申请号DE19883852510-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer leitenden oder supraleitenden dünnen Schicht.
摘要
申请公布号	DE3852510(D1)	申请公布日期	1995.02.02
申请号	DE19883852510	申请日期	1988.02.24
申请人	KAWATETSU MINING CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KOINUMA, HIDEOMI, TOKIO/TOKYO, JP	发明人	KOINUMA, HIDEOMI, TOKYO, JP;FUEKI, KAZUO, TOKYO, JP;KAWASAKI, MASASHI, TOKYO, JP;NAGATA, SHUNROH, TOKYO, JP
分类号	C23C14/08;C23C14/34;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/306	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
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