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发明名称 MOVPE-Verfahren zur Erzeugung einer Pufferschicht mit einer Mischung aus einkristallinem und amorphem Zustand
摘要
申请公布号 DE4006449(C2) 申请公布日期 1995.02.02
申请号 DE19904006449 申请日期 1990.03.01
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD., HARUHI, AICHI, JP;NAGOYA UNIVERSITY, NAGOYA, AICHI, JP;RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MANABE, KATSUHIDE, ICHINOMIYA, AICHI, JP;KATO, HISAKI, KOMAKI, AICHI, JP;AKASAKI, ISAMU, MACHIDA, TOKIO/TOKYO, JP;HIRAMATSU, KAZUMASA, YOKKAICHI, MIE, JP;AMANO, HIROSHI, HAMAMATSU, SHIZUOKA, JP
分类号 C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/86;H01L33/12;H01L33/16;H01L33/32;H01L33/40;(IPC1-7):H01L21/205;H01L33/00;C30B25/18;C30B29/38 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
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