发明名称 Entladungsausgeregte Gaslaser-Vorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69102867(T2) 申请公布日期 1995.02.02
申请号 DE19916002867T 申请日期 1991.12.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 KOSUGI, NAOKI, C/O KOSUGI, SAKYO-KU, KYOTO-SHI, JP;SHIMADA, YASUHIRO, MISHIMA-GUN, OSAKA, JP;KAWAHARA, HIDEHITO, TAKATSUKI-SHI, JP;MIKI, TADAAKI, HIGASHIYODOGAWA-KU, OSAKA-SHI, JP;MIMASU, MUTSUMI, TAKATSUKI-SHI, JP
分类号 H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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