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经营范围
发明名称
STABILIZER FOR SWITCH-MODE POWERED RF PLASMA PROCESSING.
摘要
申请公布号
EP0636285(A1)
申请公布日期
1995.02.01
申请号
EP19930912253
申请日期
1993.04.15
申请人
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人
PORTER, ROBERT, M., JR.;MUELLER, MICHAEL, L.
分类号
H05H1/46;C23C14/32;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H02M7/537;(IPC1-7):H02M7/537
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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