发明名称 STABILIZER FOR SWITCH-MODE POWERED RF PLASMA PROCESSING.
摘要
申请公布号 EP0636285(A1) 申请公布日期 1995.02.01
申请号 EP19930912253 申请日期 1993.04.15
申请人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 PORTER, ROBERT, M., JR.;MUELLER, MICHAEL, L.
分类号 H05H1/46;C23C14/32;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H02M7/537;(IPC1-7):H02M7/537 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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