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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02260660(A) 申请公布日期 1990.10.23
申请号 JP19890083507 申请日期 1989.03.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIEDA KATSUHIKO
分类号 H01L21/76;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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