发明名称 Integrated circuit fabrication process and device.
摘要
申请公布号 EP0176010(B1) 申请公布日期 1995.02.01
申请号 EP19850111545 申请日期 1985.09.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 TENG, CLARENCE;HAKEN, ROGER A.
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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