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发明名称
Integrated circuit fabrication process and device.
摘要
申请公布号
EP0176010(B1)
申请公布日期
1995.02.01
申请号
EP19850111545
申请日期
1985.09.12
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
发明人
TENG, CLARENCE;HAKEN, ROGER A.
分类号
H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
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