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经营范围
发明名称
HEAT TREATMENT SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH0729843(A)
申请公布日期
1995.01.31
申请号
JP19930154000
申请日期
1993.06.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
WATANABE TETSUO
分类号
H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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