发明名称 INSPECTING DEVICE FOR DEFECT IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0727828(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930192996 申请日期 1993.07.09
申请人 TOUHEI SHOKAI:KK 发明人 TAKAHASHI MASAYOSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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