发明名称 LEP ELECTRODE SUPPORTING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH0729893(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930198002 申请日期 1993.07.14
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA SHIGEHIRO;SASAMURA YOSHITAKA;TAMAOKI NORIHIKO;OKUNI MITSUHIRO;NAKAYAMA ICHIRO;KUBOTA MASABUMI;NOMURA NOBORU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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