| 发明名称 |
ROTARY SUBSTRATE DRYING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0729867(A) |
申请公布日期 |
1995.01.31 |
| 申请号 |
JP19930199104 |
申请日期 |
1993.07.15 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHITANI MITSUAKI |
| 分类号 |
B65G49/06;G02F1/13;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
