发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH SYSTEM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0729822(A) |
申请公布日期 |
1995.01.31 |
申请号 |
JP19930174299 |
申请日期 |
1993.07.14 |
申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
KATSUMI RYUICHI;IRIKAWA MASANORI |
分类号 |
H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/203 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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