| 发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0727771(A) |
申请公布日期 |
1995.01.31 |
| 申请号 |
JP19930170014 |
申请日期 |
1993.07.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KONO MAKIKO;HOSOKI SHIGEYUKI;HASEGAWA TAKESHI |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q60/10;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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