发明名称 MANUFACTURE OF MIS CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH0730066(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930194314 申请日期 1993.07.08
申请人 SONY CORP 发明人 FUJISAWA TOMOTAKA
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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