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发明名称 CRYSTAL DEFECT MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0729954(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930197024 申请日期 1993.07.14
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAGUCHI NOBUYUKI
分类号 H01L21/324;H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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