SPUTTERING DEVICE AND SPUTTERING METHOD,申请号JP19930196784-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SPUTTERING DEVICE AND SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号	JPH0729896(A)	申请公布日期	1995.01.31
申请号	JP19930196784	申请日期	1993.07.13
申请人	NIPPON STEEL CORP	发明人	TANAKA MASAAKI;KAWASAKI ATSUSHI
分类号	H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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