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发明名称 DRY ETCHING METHOD FOR COPPER THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0729878(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930153241 申请日期 1993.06.24
申请人 SUSUMU KOGYO KK 发明人 TAKEYAMA SHIZUKA
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320;H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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