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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0729911(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930192853 申请日期 1993.07.07
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AMAI TSUTOMU
分类号 H01L21/322;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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