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发明名称 MES TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0729922(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930196738 申请日期 1993.07.15
申请人 NEC CORP 发明人 KIMURA TOMOAKI
分类号 H01L29/41;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
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