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发明名称 VERTICAL FURNACE FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0729838(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930197989 申请日期 1993.07.15
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAMURA NAOTO
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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