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发明名称 X-RAY IRRADIATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04294300(A) 申请公布日期 1992.10.19
申请号 JP19910081126 申请日期 1991.03.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KANEKO TAKASHI;SAITO YASUNAO
分类号 G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01J35/14;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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