发明名称 VACUUM DRYING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0727473(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19920297707 申请日期 1992.10.09
申请人 OKASHIRO KANAGATA KASEI KK 发明人 OKASHIRO AKIRA
分类号 F26B3/28;F26B5/04;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/04 主分类号 F26B3/28
代理机构 代理人
主权项
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