发明名称 THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 JPH0724304(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19930170013 申请日期 1993.07.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITSUYA MUNEHISA
分类号 B01J19/00;(IPC1-7):B01J19/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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