发明名称 CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING METHOD FOR TUNGSTEN OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH0726384(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19930222014 申请日期 1993.07.10
申请人 MARUYAMA TOSHIRO 发明人 MARUYAMA TOSHIRO
分类号 B01J19/12;C01G41/02;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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