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发明名称 Plasma reactor with removable insert
摘要
申请公布号 HK7495(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 HK19950000074 申请日期 1995.01.19
申请人 TEGAL CORPORATION 发明人 DAVID JOHN DRAGE
分类号 H01L21/205;H01L21/00;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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