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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DICHTEM HOCHREINEM SILICIUMDIOXID MIT PARTIKELGRÖSSEN IM MIKROMETERBEREICH.
摘要
申请公布号 DE69105955(D1) 申请公布日期 1995.01.26
申请号 DE19916005955 申请日期 1991.02.28
申请人 CABOT CORP., BOSTON, MASS., US 发明人 MENASHI, JAMEEL, LEXINGTON, MA 02173, US;KOEHLERT, KENNETH, C., CHAMPAIGNE, IL 61821, US
分类号 C01B33/12;C03C1/00;C03C3/06;C04B35/14;(IPC1-7):C01B33/12 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
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