发明名称 Si/SiGe semiconductor body.
摘要
申请公布号 EP0307850(B1) 申请公布日期 1993.12.15
申请号 EP19880114928 申请日期 1988.09.13
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 DAEMBKES, HEINRICH
分类号 H01L27/06;H01L29/737;H01L29/778;(IPC1-7):H01L27/06;H01L29/76;H01L29/72 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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