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发明名称 Verfahren zur Bildung eines Kondensators
摘要
申请公布号 DE4201004(C2) 申请公布日期 1995.01.26
申请号 DE19924201004 申请日期 1992.01.16
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC., BOISE, ID., US 发明人 DENNISON, CHARLES H., BOISE, ID., US;CHAN, HIANG, BOISE, ID., US;LIU, YAUH-CHING, BOISE, ID., US;FAZAN, PIERRE, BOISE, ID., US;RHODES, HOWARD E., BOISE, ID., US
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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